三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：RBN-XYZ系列

產(chǎn)品應(yīng)用：RBN-XYZ系列是一款高精度的三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，結(jié)構(gòu)緊湊，亞微米級(jí)重復(fù)定位精度用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測(cè)、測(cè)試測(cè)量、半導(dǎo)體、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)

• 抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向

• 百納米級(jí)定位精度

• 納米級(jí)微動(dòng)步距

• 高動(dòng)態(tài)性能

• 結(jié)構(gòu)可接受定制

產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)為直驅(qū)緊湊式結(jié)構(gòu)，XY軸三片疊層的方式，有效地降低工作點(diǎn)的高度，Z軸采用低摩擦氣缸配重，可以抵消負(fù)載的重力，從而降低電機(jī)持續(xù)推力的要求，減小運(yùn)動(dòng)臺(tái)發(fā)熱量，斷使能負(fù)載不會(huì)受重力影響而向下脫落?？谷鋭?dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌，滾柱交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。

精度性能

RBN-XYZ軸電子分辨率0.3nm或5nm選配，定位精度±50nm，雙向重復(fù)定位精度±10nm，直線度和平面度±0.75μm以內(nèi)，是高精度場(chǎng)所的理想選擇。

定制化設(shè)計(jì)

可定制用于10^-7Torr真空環(huán)境下的版本；定制加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺(tái)等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。

規(guī)格參數(shù)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。

1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

3. 空載條件下的精度指標(biāo)，MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。

4. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。