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三軸氣浮運(yùn)動臺

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參考價100000-400000/ 件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號

    QFL3D系列
  • 品牌

    其他品牌
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商
  • 所在地

    北京市

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更新時間:2025-03-18 17:01:03瀏覽次數(shù):915

聯(lián)系我們時請說明是食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

產(chǎn)品簡介

重復(fù)定位精度 ±15nm~±100nm 全行程直線度 ±0.1μm
QFL3D系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的三軸氣浮運(yùn)動臺,用于飛秒激光加工,超精密加工,測試測量,掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對準(zhǔn)等行業(yè),由于非接觸式移動,精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖

三軸氣浮運(yùn)動臺

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 三軸直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu)

  • 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高

  • 根據(jù)需求可定制

  • 高柔線纜管理系統(tǒng)


結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
QFL3D系列是一款預(yù)負(fù)載結(jié)構(gòu)的三軸氣浮運(yùn)動臺,氣浮結(jié)構(gòu)已證明是精密應(yīng)用中的理想選擇,適用飛秒激光加工、微納制造等應(yīng)用,具有體積小,精度高和外觀緊湊等特點(diǎn),無論是定位抖動,還是速度穩(wěn)定性,QFL3D系列都是良好的解決方案。


定制化

根據(jù)用戶的應(yīng)用,可以選擇單軸,雙軸,三軸等多種結(jié)構(gòu),如直接在XY軸上增加Z軸,平升Z軸或定制大理石基座、立柱及橫梁上側(cè)掛Z軸等。此外可提供激光觸發(fā)同步輸出信號。


線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管,線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動力影響可忽略不計,運(yùn)動中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動臺的性能。


潔凈室兼容性

氣浮軸承本質(zhì)上與潔凈室環(huán)境兼容,高質(zhì)量的無塵線纜管理也符合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。



規(guī)格指標(biāo)

三軸氣浮運(yùn)動臺

三軸氣浮運(yùn)動臺

三軸氣浮運(yùn)動臺

三軸氣浮運(yùn)動臺

三軸氣浮運(yùn)動臺

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±0.5℃(重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm,測量時溫度20℃±0.01℃),濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

3. 空載條件下指標(biāo),MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。

4. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無水(壓力露點(diǎn)-20℃,ISO8573-1級別3)及無油(ISO8573-1級別1)。

5. 無特殊項(xiàng)目要求,出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。


售后服務(wù)

質(zhì)保期為驗(yàn)收合格后12個月。

我公司在2小時內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時接收用戶反饋的問題。

免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);

反饋時間不超過2小時;

如果需要到現(xiàn)場服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外)質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;

設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識;識別初級故障及必要的恢復(fù)方法;常見故障排除方法。





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