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詳細介紹
產品簡介
XY軸采用雙直線電機驅動，滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋，XY軸為雙驅龍門結構，行程800mmx200mm。
Z軸采用力矩電機驅動，交叉滾柱導軌導向及雙光柵尺閉環(huán)反饋，平升Z軸結構，行程12.5mm。
C軸采用力矩電機驅動，精密軸環(huán)導向及光柵尺閉環(huán)反饋，行程 1°用于角度位置調整。
Epin采用音圈電機驅動，光柵尺閉環(huán)反饋，用于晶圓切換。
ZC軸內置XY軸中，結構緊湊，有效降低工作點的高度，降低阿貝誤差對系統精度的影響，應用于晶圓加工及檢測等領域。
選用大理石材質作為機體，大理石因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。
產品細節(jié)圖
規(guī)格指標
軸系 | 測試項目 | 單位 | 指標要求 | 實測指標 |
X 龍門軸 | 行程 | mm | 800 | 800 |
補償后定位精度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
單向重復定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
直線度 | μm | ±4 | ±0.55 | |
平面度 | μm | ±3 | ±0.85 | |
俯仰 | arc sec | ±5 | ±1.95 | |
偏擺 | arc sec | ±4.5 | ±1.4 | |
微動步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償后定位精度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
單向重復定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
直線度 | μm | ±1 | ±0.65 | |
平面度 | μm | ±2 | ±0.95 | |
Pitch | arc sec | ±5 | ±3.1 | |
Yaw | arc sec | ±4.5 | ±0.8 | |
微動步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Z 軸 | 行程 | mm | 12.5 | 12.5 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
單向重復定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
微動步距 | nm | 100 | 100 | |
工作速度 | mm/s | 8 | 8 | |
C 軸 | 行程 | ° | 1 | 1 |
單向重復定位精度 | ° | ±0.003 | ±0.0007 | |
微動步距 | ° | 0.001 | 0.001 | |
工作速度 | °/s | 1 | 1 | |
Epin | 行程 | mm | 15 | 15 |
單向重復定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
XY | 正交 | arc sec | 10 | 1 |
— | 負載 | kg | 3 | 3 |
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